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 Silicon carbide dry etching technique for pressure sensors design 碳化硅干法刻蚀技术在压力传感器设计中的应用
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期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：А. А. Осипов; Gleb A. Iankevich; A. B. Speshilova; Anna A. Karakchieva; Ekaterina V. Endiiarova; et al 出版日期：2022-01-01 |
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