Design, modeling, and test of a normal-stressed electromagnetic actuated compliant nano-positioning stage

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标题	Design, modeling, and test of a normal-stressed electromagnetic actuated compliant nano-positioning stage
网址	https://doi.org/10.1016/j.ymssp.2022.109753
DOI	10.1016/j.ymssp.2022.109753 doi
其它	期刊：Mechanical Systems and Signal Processing 作者：Xiangyuan Wang; Yixuan Meng; Weiwei Huang; Linlin Li; Zhiwei Zhu; et al 出版日期：2022-09-14
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