A digital holographic microscope for complete characterization of microelectromechanical systems

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标题	A digital holographic microscope for complete characterization of microelectromechanical systems
网址	http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/15/3/005
DOI	10.1088/0957-0233/15/3/005 doi
其它	期刊：Measurement Science and Technology 作者：G Coppola; P Ferraro; M Iodice; S De Nicola; A Finizio; et al 出版日期：2004-02-09
求助人	温柔诺言在 2026-06-26 18:11:11 发布自江苏，悬赏 10 积分
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