Evaluation of electrical characteristics through band alignment and defect analysis of ultrathin Pt/ZrO2–Al2O3–ZrO2/TiN DRAM metal–insulator–metal capacitors

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标题	Evaluation of electrical characteristics through band alignment and defect analysis of ultrathin Pt/ZrO2–Al2O3–ZrO2/TiN DRAM metal–insulator–metal capacitors
网址	http://dx.doi.org/10.1116/6.0004387
DOI	10.1116/6.0004387 doi
求助人	xhy 在 2026-09-21 00:16:42 发布自四川，悬赏 30 积分
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