Molecular Glass Resists Based on 9,9′-Spirobifluorene Derivatives: Pendant Effect and Comprehensive Evaluation in Extreme Ultraviolet Lithography

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标题	Molecular Glass Resists Based on 9,9′-Spirobifluorene Derivatives: Pendant Effect and Comprehensive Evaluation in Extreme Ultraviolet Lithography
网址	http://dx.doi.org/10.1021/acsapm.8b00235
DOI	10.1021/acsapm.8b00235 doi
其它	期刊：ACS Applied Polymer Materials 作者：Jinping Chen; Qingshan Hao; Shuangqing Wang; Shayu Li; Tianjun Yu; et al 出版日期：2019-02-19
求助人	xzj7789210 在 2026-08-09 13:46:52 发布自山东，悬赏 10 积分
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American Society of Clinical Oncology (ASCO)

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