Investigation of Patterned Plasma Etching Processes for HJT-IBC Solar Cells: Keys to Maintaining a High Electronic Quality Surface

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标题	Investigation of Patterned Plasma Etching Processes for HJT-IBC Solar Cells: Keys to Maintaining a High Electronic Quality Surface 相关领域蚀刻（微加工）等离子体等离子体刻蚀质量（理念）光电子学曲面（拓扑）材料科学纳米技术物理几何学数学图层（电子）量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.solmat.2025.113653 AI链接 hal.science hal.science hal.sciencedoi.org
DOI	10.1016/j.solmat.2025.113653 doi
其它	期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells 作者：Junkang Wang; Chandralina Patra; Weixi Wang; Monalisa Ghosh; Pavel Bulkin; et al 出版日期：2025-04-18
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