| 标题 |
Plasma Modeling of a PEALD System for the Deposition of TiO2 and HfO2 |
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| DOI |
10.3938/jkps.54.1048
doi
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| 其它 |
期刊:Journal of the Korean Physical Society 作者:Junghoon Joo; Steve Rossnagel 出版日期:2009-03-14 |
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(2025-6-4)