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Electrical and structural properties of ArF excimer laser activation of Mg-doped GaN small area mesa device ArF准分子激光激活掺镁GaN小面积台面器件的电学和结构性能
相关领域
材料科学
兴奋剂
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期刊:Optical Engineering 作者:Maria Emma Villamin; Ronel Christian Roca; Itaru Kamiya; N. Iwata 出版日期:2024-09-04 |
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