Neural Network Tuning Multizone Coupled Temperature Control System in Large-Sized Monolithic Silicon Epitaxy Equipment

已完结

文献求助详情

标题	Neural Network Tuning Multizone Coupled Temperature Control System in Large-Sized Monolithic Silicon Epitaxy Equipment
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/9424/4389054/11597889.pd...
DOI	10.1109/tii.2026.3704109 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Industrial Informatics 作者：Jiazhe Suo; Bo Jin; Lingfeng Zhu; Wenhao Zhang 出版日期：2026-07-08
求助人	哈哈在 2026-10-05 17:07:57 发布自美国，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人或该文件上传人下载。

上个求助

下个求助

American Society of Mechanical Engineers (ASME)

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 隐形曼青的应助被勤奋的科研小白采纳，获得10

刚刚; 李健上传了应助文件

1秒前; 在水一方上传了应助文件

1秒前; sunchem完成签到，获得积分10

2秒前; 胖儿完成签到，获得积分10

3秒前; 汉堡包上传了应助文件

3秒前; 科研通AI6.4的应助被ab采纳，获得10

4秒前; 斯文败类的应助被dsafas采纳，获得10

4秒前; 顾矜的应助被冬天该很好采纳，获得10

6秒前; NONO发布了新的文献求助10

6秒前; 诗谙发布了新的文献求助10

6秒前; 学霸业上传了应助文件

7秒前; ly的应助被库洛洛采纳，获得10

8秒前; 隐形曼青上传了应助文件

8秒前; ying发布了新的文献求助10

9秒前; xlli00完成签到，获得积分10

9秒前; 大方惜文完成签到，获得积分20

9秒前; 酷波er上传了应助文件

10秒前; 殷勤的山柏完成签到，获得积分10

10秒前; 小刘接好运发布了新的文献求助10

10秒前; 傲娇小废柴发布了新的文献求助10

11秒前; 土小拨同学发布了新的文献求助10

11秒前; 桐桐的应助被自由惜寒采纳，获得10

11秒前; 勤奋的科研小白发布了新的文献求助10

11秒前; 华仔上传了应助文件

12秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

12秒前; 优秀的冬衣的应助被Lucky采纳，获得10

12秒前; Y888888完成签到，获得积分0

12秒前; 刘丰发布了新的文献求助10

15秒前; molihuakai的应助被诗谙采纳，获得50

15秒前; 情怀上传了应助文件

15秒前; JAEsusu发布了新的文献求助20

16秒前; 文昕发布了新的文献求助10

16秒前; 李健的小迷弟的应助被大方惜文采纳，获得10

16秒前; 小蘑菇的应助被青柠采纳，获得10

16秒前; Ava的应助被青柠采纳，获得10

16秒前; JamesPei的应助被青柠采纳，获得10

16秒前; 烟花的应助被青柠采纳，获得10

16秒前; 爆米花的应助被青柠采纳，获得10

17秒前; Orange的应助被青柠采纳，获得10

17秒前