Design and Fabrication of a Multi-Spring Large-Mass MEMS Accelerometer for Microseismic Detection in Geological Exploration

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标题	Design and Fabrication of a Multi-Spring Large-Mass MEMS Accelerometer for Microseismic Detection in Geological Exploration
网址	http://dx.doi.org/10.1109/nems69704.2026.11633771
DOI	10.1109/nems69704.2026.11633771 doi
其它	期刊：2026 IEEE 21st International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS) 作者：LianjunWu LianjunWu; Yanpeng Du; Chao Sun; Jianhui Yi; Wenjing Li; et al 出版日期：2026-04-01
求助人	侠心飞白在 2026-10-17 16:51:50 发布自重庆，悬赏 10 积分
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