Advanced method for run-to-run control of photolithography overlay registration in high-mix semiconductor production

待确认

文献求助详情

标题	Advanced method for run-to-run control of photolithography overlay registration in high-mix semiconductor production
网址	https://doi.org/10.1117/12.599733
DOI	10.1117/12.599733 doi
其它	期刊：SPIE Proceedings 作者：Anthony J. Toprac; Yang Wang 出版日期：2005-06-04
求助人	yyyyy 在 2026-10-18 14:59:01 发布自山东，悬赏 20 积分
下载

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

请等待求助人确认

已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。
9小时前

科研通AI6.4 机器人Lv12 上传了文件

待审核 12.599733.pdf (270.61 KB)

温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请提交工单反馈。
9小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

14:59:04 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

14:59:01 科研通AI机器人（英国伦敦）收到请求，开始寻找文献

14:59:01 已向机器人发送请求
9小时前

yyyyy Lv5 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 科研通AI2S上传了应助文件

1秒前; 你嵙这个期刊没买上传了应助文件

2秒前; qiao完成签到，获得积分10

2秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

2秒前; 自觉康乃馨完成签到，获得积分10

3秒前; 星辰大海上传了应助文件

3秒前; Zurich发布了新的文献求助10

5秒前; hill完成签到，获得积分10

7秒前; 史蒂芬发布了新的文献求助10

7秒前; 田様上传了应助文件

8秒前; lilac发布了新的文献求助10

10秒前; 李秋莉完成签到，获得积分10

10秒前; midus发布了新的文献求助10

10秒前; 你嵙这个期刊没买上传了应助文件

12秒前; 天天快乐的应助被bfs采纳，获得10

12秒前; hou发布了新的文献求助10

12秒前; wanci上传了应助文件

13秒前; 李健的小迷弟上传了应助文件

14秒前; 顺利水桃完成签到，获得积分10

15秒前; NexusExplorer上传了应助文件

16秒前; lyp完成签到，获得积分10

17秒前; CHEN完成签到，获得积分10

17秒前; Hello上传了应助文件

18秒前; 跳跃的隶发布了新的文献求助10

18秒前; huohuo完成签到，获得积分10

20秒前; 小栗子完成签到，获得积分10

20秒前; yc发布了新的文献求助10

20秒前; 没名字发布了新的文献求助10

21秒前; 超级哒哒发布了新的文献求助10

21秒前; 鹿角大仙完成签到，获得积分10

22秒前; 搜集达人上传了应助文件

22秒前; 顺利的谷菱完成签到，获得积分10

22秒前; 卡洛完成签到，获得积分10

22秒前; 小马甲的应助被ly采纳，获得10

22秒前; 小二_来篇一作发布了新的文献求助20

25秒前; 天天快乐上传了应助文件

26秒前; XXshen发布了新的文献求助10

26秒前; NexusExplorer上传了应助文件

28秒前; wtian完成签到，获得积分10

29秒前; 你嵙这个期刊没买上传了应助文件

29秒前