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标题
Growth of copper metal by atomic layer deposition using copper(I) chloride, water and hydrogen as precursors
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2003.12.063
DOI
10.1016/j.tsf.2003.12.063 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：Tobias Törndahl; Mikael Ottosson; Jan-Otto Carlsson
出版日期：2004-06-01
求助人
高贵的映安 在 2026-10-21 18:44:43 发布自江苏，悬赏 10 积分
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