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标题
Processing and machining mechanism of ultrasonic vibration-assisted grinding on sapphire
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2022.106470
DOI
10.1016/j.mssp.2022.106470 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Yue Chen; Zhongwei Hu; Yiqing Yu; Zhiyuan Lai; Jiegang Zhu; et al
出版日期：2022-01-12
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张浩威 在 2026-09-28 15:08:58 发布自河南，悬赏 10 积分
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