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 Concept of Error Compensation for Nonorthogonality in Two-Axis Displacement Measurement System Utilizing Single Grating Scale and Littrow Configuration 相关领域
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10.1115/1.4066035
doi
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期刊：Journal of Manufacturing Science and Engineering 作者：Masaki Michihata; Souki Fujimura; Shuzo Masui; Satoru Takahashi 出版日期：2024-07-19 |
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(2025-6-4)
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