Characterization of Twist and Tilt Misalignments in the Direct WaferBonding Process: A Case Study of LiNbO3 on Oxidized Si

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标题	Characterization of Twist and Tilt Misalignments in the Direct WaferBonding Process: A Case Study of LiNbO3 on Oxidized Si
网址	https://doi.org/10.1021/acs.langmuir.6c03446
DOI	10.1021/acs.langmuir.6c03446 doi
其它	期刊：Langmuir 作者：Zheng B, Chen X, Zhang J, Qin X, Liu J, Xiao K, Yang A, Tan B, Shen A 出版日期：2026-09-01
求助人	江南杨姓才子在 2026-10-29 16:37:23 发布自江苏，悬赏 10 积分
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