| 标题 |
Slanted gratings with varying slant angle by localized reactive ion beam processing |
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| DOI |
10.1117/12.2600516
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期刊: 作者:David Stark; Carsten Schulze; M. Demmler; Matthias Nestler; Michael Zeuner 出版日期:2021-06-16 |
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(2025-6-4)