Physical optics study of mask roughness in EUV interference lithography

已关闭

文献求助详情

标题	Physical optics study of mask roughness in EUV interference lithography
网址	https://doi.org/10.1117/12.3061918
DOI	10.1117/12.3061918 doi
其它	期刊：Advances in X-Ray/EUV Sources, Optics, and Components XX 作者：Jerome Knappett; Cameron M. Kewish; Blair Haydon; Grant A. van Riessen; Hidekazu Mimura; Ali M. Khounsary 出版日期：2025
求助人	dd1015 在 2026-05-28 16:27:38 发布自吉林，悬赏 20 积分
下载

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

2个月前，求助关闭

科研通管家机器人关闭了本次求助。

说明求助超时（查看超时原因）自动关闭，请核实信息是否正确，如果确实需要，您可重新发布求助。【积分已退回】
2个月前

dd1015 Lv1 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Wang_miao完成签到，获得积分10

刚刚; 狂野故事完成签到，获得积分20

1秒前; 乐乐上传了应助文件

1秒前; wzy发布了新的文献求助10

2秒前; SciGPT上传了应助文件

2秒前; milo完成签到，获得积分10

2秒前; 可靠秋蝶完成签到，获得积分10

3秒前; fan发布了新的文献求助10

4秒前; 哈哈发布了新的文献求助10

4秒前; 俭朴的藏今完成签到，获得积分10

6秒前; 汉堡包上传了应助文件

6秒前; vampv上传了应助文件

7秒前; 熊大发布了新的文献求助10

7秒前; Jasper上传了应助文件

7秒前; lhw发布了新的文献求助10

7秒前; 00发布了新的文献求助10

7秒前; ke完成签到，获得积分10

8秒前; 所所的应助被狂野故事采纳，获得10

8秒前; 鹿小新完成签到，获得积分0

8秒前; breeze完成签到，获得积分10

10秒前; Yuan发布了新的文献求助20

11秒前; lym发布了新的文献求助10

12秒前; 丘比特上传了应助文件

16秒前; 无限的白羊完成签到，获得积分10

17秒前; heihei完成签到，获得积分10

19秒前; 充电宝上传了应助文件

19秒前; minnie完成签到，获得积分10

21秒前; madcatalysis完成签到，获得积分10

21秒前; 无语的语风发布了新的文献求助30

23秒前; 居居发布了新的文献求助30

23秒前; 执着的导师的应助被康康采纳，获得10

23秒前; 掬一捧月光完成签到，获得积分10

24秒前; 小小牛马的应助被怕黑的南烟采纳，获得10

25秒前; 凤凰山发布了新的文献求助10

25秒前; 果子完成签到，获得积分20

26秒前; LingC完成签到，获得积分10

27秒前; 怕孤单的Hannah完成签到，获得积分10

28秒前; 朴实沛山完成签到，获得积分10

28秒前; 居居完成签到，获得积分10

31秒前; 失眠翠芙上传了应助文件

31秒前