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 Finite-element modeling of nanoindentation for evaluating mechanical properties of MEMS materials 相关领域
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：J. A. Knapp; D.M. Follstaedt; S. M. Myers; J. C. Barbour; Thomas A. Friedmann; et al 出版日期：1998-05-01 |
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