Optimizing doping and boat design to mitigate slip in silicon wafers during high-temperature argon annealing

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标题	Optimizing doping and boat design to mitigate slip in silicon wafers during high-temperature argon annealing
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X2...
DOI	10.1016/j.vacuum.2026.115270 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Yuehao Yang; Hu Wang; Hui Zhang; Chenguang Sun; Xuenan Zhang; et al 出版日期：2026-03-20
求助人	时光在 2026-04-09 22:32:23 发布自天津，悬赏 10 积分
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