Fabrication and characteristics of MEMS vertical type probe tip for micro sized pads measurement

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标题	Fabrication and characteristics of MEMS vertical type probe tip for micro sized pads measurement
网址	https://doi.org/10.1109/MEMSYS.2007.4432969
DOI	10.1109/MEMSYS.2007.4432969 doi
其它	期刊：2007 IEEE 20th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 作者： Jin Hyuk Kim; Sung Il Chu; Ho Won Seo; Jae Wook Ryu; Gye Tae Kim; Sung Moon 出版日期：2007
求助人	任性的鸵鸟在 2026-04-09 11:25:27 发布自江苏，悬赏 10 积分
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