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 Influence of Deposition Parameters on the Composition and Structure of Reactively Sputtered Nanocomposite TaC/a-C:H Thin Films 沉积参数对反应溅射TaC/a-C：H纳米复合薄膜组成和结构的影响
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期刊：Journal of materials research/Pratt's guide to venture capital sources 作者：R Evans; Jane Y. Howe; J. Bentley; Gary L. Doll; Jeffrey T. Glass 出版日期：2005-09-01 |
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