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 Super-polished metallic freeform optics for EUV-application 用于EUV应用的超抛光金属自由曲面光学器件
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光学
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期刊： 作者：T. Porwol; Jan Kinast; Luxuan Cai; Ralf Steinkopf; Stefan Risse 出版日期：2024-02-23 |
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