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 Nanoscale Structuring of Gallium Arsenide in High-Frequency and Glow Discharge Plasma 高频辉光放电等离子体中砷化镓的纳米结构
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期刊：Russian Microelectronics 作者：Andrey Dunaev; D. V. Barabanov; T. A. Zhukova 出版日期：2021-07-01 |
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GuanYZ
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