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标题
Model improvements to simulate charging in scanning electron microscope
相关领域
电子 蒙特卡罗方法 电场 散射 次级电子 计算物理学 电介质 物理 光学 光电子学 核物理学 数学 量子力学 统计
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.18.4.044003
AI链接 tudelft.nl tudelft.nldoi.org
DOI
10.1117/1.jmm.18.4.044003 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS
作者：Kerim T. Arat; Thomas Klimpel; K. HAGEN
出版日期：2019-12-05
求助人
支原体感染力 在 2025-10-09 16:46:50 发布自广东，悬赏 20 积分
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