Annealing behaviors of open spaces and gas desorption in chemical vapor deposited SiO2 studied with monoenergetic positron beams

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标题	Annealing behaviors of open spaces and gas desorption in chemical vapor deposited SiO2 studied with monoenergetic positron beams 用单能正电子研究化学气相沉积SiO2中空隙和气体脱附的退火行为相关领域解吸退火（玻璃）正电子材料科学化学气相沉积化学工程核物理学化学纳米技术复合材料物理化学物理吸附电子工程类
网址	https://doi.org/10.1063/5.0217760
DOI	10.1063/5.0217760 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Akira Uedono; Ryu Hasunuma; Koki Onishi; Hayato Kitagawa; Fumihiro Inoue; et al 出版日期：2024-07-23
求助人	waitamoment 在 2025-10-17 09:26:40 发布自上海，悬赏 10 积分
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