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Surface Analysis for Selective SiO2 Etching by Reflectance Photoelastic Modulated Fourier Transform Infrared Spectroscopy
反射光弹调制傅里叶变换红外光谱对SiO2选择性蚀刻的表面分析
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网址
https://doi.org/10.1143/jjap.40.6109
DOI
10.1143/jjap.40.6109 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Hyun-Ho Doh; Changwoong Chu; Kyeong-Koo Chi; Joo-Tae Moon
出版日期：2001-10-01
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LLL 在 2025-09-04 21:27:35 发布自湖北，悬赏 10 积分
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