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 Mechanical and optical properties of hard SiCN coatings prepared by PECVD 相关领域
材料科学
纳米压痕
复合材料
等离子体增强化学气相沉积
微观结构
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弹性模量
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薄膜
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分析化学（期刊）
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期刊：Thin Solid Films 作者：P. Jedrzejowski; Jakub Čı́žek; Aram Amassian; J.E. Klemberg-Sapieha; J. Vlček; et al 出版日期：2003-10-11 |
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