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Mechanical and optical properties of hard SiCN coatings prepared by PECVD

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作者

P. Jedrzejowski,Jakub Čı́žek,Aram Amassian,J.E. Klemberg-Sapieha,J. Vlček,L. Martinů

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2003-10-11 卷期号：447-448: 201-207 被引量：153

标识

DOI：10.1016/s0040-6090(03)01057-5

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