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  Ultrathin Flexible Encapsulation Materials Based on Al2O3/Alucone Nanolaminates for Improved Electrical Stability of Silicon Nanomembrane-Based MOS Capacitors 提高硅纳米膜基MOS电容器电稳定性的基于Al2O3/铝酮纳米层压板的超薄柔性封装材料
相关领域
材料科学
原子层沉积
电容器
电容
氧化物
晶体管
光电子学
硅
半导体
纳米技术
柔性电子器件
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期刊：Micromachines 作者：Zhuofan Wang; Hongliang Lü; Yuming Zhang; Chen Liu; Haonan Zhang; et al 出版日期：2023-12-24 |
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