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 Growth of native oxide on a silicon surface 硅表面天然氧化物的生长
相关领域
超纯水
氧化物
溶解
硅
氧化硅
材料科学
化学工程
薄脆饼
纳米技术
冶金
工程类
氮化硅
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Mizuho Morita; Tadahiro Ohmi; Eiji Hasegawa; Masahiro Kawakami; Makoto Ohwada 出版日期：1990-08-01 |
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