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An Adversarial Active Sampling-Based Data Augmentation Framework for AI-Assisted Lithography Modeling 基于对抗性主动采样的人工智能光刻建模数据增强框架
相关领域
计算机科学
光学接近校正
稳健性(进化)
可制造性设计
人工神经网络
平版印刷术
人工智能
深度学习
利用
计算光刻
机器学习
数据建模
计算机工程
多重图案
工程类
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抵抗
过程(计算)
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生物化学
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期刊: 作者:Mingjie Liu; H. Yang; Brucek Khailany; Haoxing Ren 出版日期:2023-10-28 |
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