A simulation of micro-loading phenomena in dry-etching process using a new adsorption model

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标题	A simulation of micro-loading phenomena in dry-etching process using a new adsorption model
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx2/1088/8045/00347265.pdf?a...
DOI	10.1109/iedm.1993.347265 doi
其它	期刊：Proceedings of IEEE International Electron Devices Meeting 作者：A. Misaka; K. Harafuji; H. Nakagawa; M. Kubota 出版日期：2002-12-31
求助人	davey 在 2026-06-25 10:13:02 发布自安徽，悬赏 10 积分
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