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标题
Improvement of the resistivity uniformity of 8-inch 4H–SiC wafers by optimizing the thermal field
网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2024.112961
DOI
10.1016/j.vacuum.2024.112961 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：G. X. Hu; Guanglei Zhong; Xixi Xiong; Huadong Li; Hongyu Shao; et al
出版日期：2024-01-09
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Crystal 在 2026-07-15 14:19:32 发布自四川，悬赏 10 积分
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