The critical role of electron induced secondary electrons in high-voltage and low-pressure capacitively coupled oxygen plasmas

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标题	The critical role of electron induced secondary electrons in high-voltage and low-pressure capacitively coupled oxygen plasmas
网址	http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/ac64bd
DOI	10.1088/1361-6595/ac64bd doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：B Horváth; Z Donkó; J Schulze; A Derzsi 出版日期：2022-04-01
求助人	Mzuser 在 2026-08-02 18:59:39 发布自伊朗，悬赏 10 积分
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