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  Force-induced electrocatalytic abrasives in-situ electrochemical mechanical polishing 4H-SiC wafers 相关领域
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期刊：Journal of Materials Research and Technology 作者：Xueju Zhang; Jiapeng Chen; Yanan Peng; Zhenlin Jiang; Baoxiu Wang; et al 出版日期：2026-06-01 |
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