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标题
Improved anchor design for flat MEMS structure by suppressing deformation due to buried-oxide stress on silicon-on-insulator wafer
网址
https://www.researchgate.net/publication/349230021_Improved_...
DOI
10.1088/1361-6439/abe09b doi
求助人
holye 在 2026-08-14 12:19:52 发布自北京，悬赏 30 积分
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