Mechanistic study of vibration-assisted gradient polishing of silicon wafers with fractal rough surfaces at the nanoscale

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标题	Mechanistic study of vibration-assisted gradient polishing of silicon wafers with fractal rough surfaces at the nanoscale
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0301679X2...
DOI	10.1016/j.triboint.2026.112337 doi
其它	期刊：Tribology International 作者：Yi Shao; Rui Chen; Yuhang Sun; Gai Zhao; Xiangchuan Wang 出版日期：2026-06-16
求助人	爱吃1983的拿破仑在 2026-09-09 19:55:24 发布自中国，悬赏 10 积分
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