Nanoscale Ruthenium-Containing Deposits from Ru(CO)4I2 via Simultaneous Focused Electron Beam-Induced Deposition and Etching in Ultrahigh Vacuum: Mask Repair in Extreme Ultraviolet Lithography and Beyond

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标题	Nanoscale Ruthenium-Containing Deposits from Ru(CO)4I2 via Simultaneous Focused Electron Beam-Induced Deposition and Etching in Ultrahigh Vacuum: Mask Repair in Extreme Ultraviolet Lithography and Beyond 超高真空中通过同时聚焦电子束诱导沉积和蚀刻从Ru（CO）4I2制备纳米级含钌沉积物：极紫外光刻及以后的掩模修复
网址	https://doi.org/10.1021/acsanm.1c04481.s001
DOI	10.1021/acsanm.1c04481.s001 doi
其它	期刊：作者：出版日期：2022-03-15
求助人	爱吃鱼的鼠在 2025-12-11 09:37:06 发布自山东，悬赏 10 积分
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