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 Quantifying the Impact of Al Deposition Method on Underlying Al2O3/Si Interface Quality 相关领域
溅射
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期刊：physica status solidi (a) 作者：Iris Mack; Kawa Rosta; Ulviyya Quliyeva; J. Ott; Toni P. Pasanen; et al 出版日期：2023-08-31 |
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