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标题
The Role of Particle Adhesion and Surface Deformation in Chemical Mechanical Polishing Processes
相关领域
材料科学 抛光 化学机械平面化 表面粗糙度 磨料 复合材料 变形（气象学） 粘附 表面光洁度 粒子（生态学） 薄脆饼 纳米技术 海洋学 地质学
网址
https://doi.org/10.1149/1.1390679
DOI
10.1149/1.1390679 doi
其它 期刊：Electrochemical and Solid-State Letters
作者：Fan Zhang
出版日期：1999-01-01
求助人
Tayzon 在 2026-01-25 22:20:11 发布自吉林，悬赏 10 积分
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