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Single-component silicon-based patterning materials for EUV lithography
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网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.2657889
DOI
10.1117/12.2657889 doi
其它 期刊：
作者：Julius Joseph Santillan; Akihiro Konda; Motoharu Shichiri; Toshiro Itani
出版日期：2023-05-01
求助人
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