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标题
Arc energy minimization in high-power impulse magnetron sputtering
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DOI
10.1016/j.vacuum.2022.111213 doi
其它 期刊:Vacuum
作者:В.О. Оскирко; V.D. Semenov; А.А. Solovyev; С. В. Работкин; А.П. Павлов; et al
出版日期:2022-05-27
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