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Illuminating the Challenges in Extreme Ultraviolet Patterning Materials
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网址
http://dx.doi.org/10.1021/acs.chemmater.5c02771
DOI
10.1021/acs.chemmater.5c02771 doi
其它 期刊：Chemistry of Materials
作者：Patrick Naulleau; Stacey F. Bent; Samuel M. Blau; Brett A. Helms; Frances A. Houle; et al
出版日期：2026-06-12
求助人
Superfan 在 2026-10-29 10:31:22 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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