Research on the Method of the Calibration of 3D Linear Scanning Probe System

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标题	Research on the Method of the Calibration of 3D Linear Scanning Probe System
网址	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/amm.121-126.1073
DOI	10.4028/www.scientific.net/amm.121-126.1073 doi
其它	期刊：Applied Mechanics and Materials 作者：Peng Wan; Junjie Guo; Pei-Ling Wu; Zhi-Gen Fei 出版日期：2011-10-01
求助人	黑子在 2026-11-01 15:15:01 发布自陕西，悬赏 30 积分
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