| 标题 |
 Ultrafast laser fabrication of low-taper angle through glass vias on glass core substrates |
| 网址 | |
| DOI |
10.1117/12.3091230
doi
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| 其它 |
期刊：Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXXI 作者：Jason R. Grenier; Daniel W. Levesque; Nicholas J. Smith; Alvin W. Mao; Omkar Supekar; et al 出版日期：2026-03-05 |
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