Effect of in-cycle nitrogen plasma treatment on plasma-enhanced atomic layer deposited silicon nitride thin films using diiodosilane and ammonia plasma

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标题	Effect of in-cycle nitrogen plasma treatment on plasma-enhanced atomic layer deposited silicon nitride thin films using diiodosilane and ammonia plasma
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943322...
DOI	10.1016/j.apsusc.2026.168602 doi
其它	期刊：Applications of Surface Science 作者：Tae Ri Yang; Gi-Beom Park; Min Chan Kim; Hyein Park; Ki-Cheol Song; et al 出版日期：2026-10-01
求助人	小巧白竹在 2026-10-22 14:54:25 发布自安徽，悬赏 10 积分
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