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Quantum chemical calculation and growth process of Ga2O3 grown via TEGa under different oxygen sources in MOCVD 相关领域
金属有机气相外延
量子化学
氧气
过程(计算)
分解
化学气相沉积
化学
材料科学
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计算机科学
有机化学
分子
外延
操作系统
图层(电子)
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期刊:CrystEngComm 作者:Jie Wang; Tiecheng Luo; Zhuo Yang; Yicong He; Jian Li; et al 出版日期:2023-01-01 |
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