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GOI Improvement in 65nm Sacrificial Oxide Free Process Integration 65nm无牺牲氧化物工艺集成的GOI改进
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期刊:ECS Transactions 作者:Daniel Deng; Hengxian Ren; Qing Fan; Hsu-Wen Ho; Qiang Xu; et al 出版日期:2010-03-09 |
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