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![]() 衬底和退火条件对射频等离子体溅射沉积非掺杂HfO2铁电性能的影响
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期刊:Nanomaterials 作者:Seokwon Lim; Yeonghwan Ahn; Beomho Won; Suwan Lee; Hayoung Park; et al 出版日期:2024-08-25 |
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