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 Generation and removal mechanisms of modified structures in single crystal diamond by nitrogen plasma-assisted polishing 氮等离子体辅助抛光金刚石单晶中修饰结构的产生与去除机理
相关领域
抛光
材料科学
钻石
等离子体
氮气
单晶
化学工程
冶金
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结晶学
有机化学
量子力学
物理
工程类
化学
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期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Chengxin Wang; Jiaqi Wan; Yuhua Huang; Ling Pan; Zhimin Chai; et al 出版日期：2025-08-01 |
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